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等离子体离子注入与沉积复合表面改性技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　等离子体离子注入与沉积技术综合了目前流行的多种等离子体表面改性技术的特点，将磁控溅射离子镀、多弧离子镀、等离子体离子注入、等离子体化学热处理、高压脉冲辉光放电薄膜沉积等结合在一起而形成的一种新型等离子体基表面改性技术。该技术可以根据工件对表面性能的要求，在不破坏真空的情况下单独或同时进行离子镀、离子注入或离子注入混合与沉积。
　　利用该技术可在较低处理温度条件下获得具有尺寸精度高、...
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