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光学表面分析仪

2007年 应用技术
  • 成果简介
光学表面分析仪它将偏振光椭圆率测量、反射测量、散射测量、显微光波干涉测量等多种方法集成于一体,一次性检测材料的所有缺陷。
主要用于检测透明薄片/薄膜材料。可广泛用于微电子、光电子产品的生产和制造过程的品质检测和监控。
所采用的关键技术:
采用复合探头技术,将偏振光椭圆率测量、反射测量、散射测量、显微光波干涉测量等多种方法集成于一个探头内,...
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