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新型深紫外非线性光学晶体材料和紫外、深紫外全固态激光器

2007年 应用技术
  • 成果简介
深紫外相干光源指波长短于200nm的相干光。除电子同步辐射光源外，目前只有两种途径能产生这类光源的有效功率输出。一种是准分子激光器，例如ArF准分子激光器能产生193.5nm的相干光源，而F2准分子激光器能产生157.6nm的相干光源。另外一种，就是使用深紫外非线性光学晶体，通过高次谐波的方法产生深紫外相干光。准分子激光虽然具有输出功率大的特点（10瓦量级），但此光源具有线宽大、光束质量差...
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