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光学非球面磁流变纳米级超精密加工工艺和装备的研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　非球面光学镜的超精密加工是一个难题，计算机控制磁流变抛光非球面和自由曲面镜是有良好应用前景的工艺方法。
　　利用尺寸为微米级的磁性微粒分散于载液中形成的悬浮液，混合抛光磨料，在磁场作用下形成高粘弹性的抛光垫，可以与被加工的光学非球面镜的曲面表面相互吻合运动进行抛光。研制了永磁和电磁结构的磁性轮形成运动磁场，采用自转和公转相结合的球形组合抛光工具形成复杂运动形式，在数控抛光机床上进行...
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