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激光平直度干涉仪

1996年 应用技术
  • 成果简介
该课题成果主要用于为该单位进口的贵重设备美国HP公司5528A双频激光干涉仪配套，增加了该仪器的平面度和直线度测量功能。为此，加工制作了平直度测量附件，编写了附合最小条件的平面度和直线度计算软件以及制作5528A与PC微计算机的接口电路。平直度测量系统的设计也考虑了与电子水平仪、数字自准直仪等有关测量仪器的联接，因而具有一定的通用性和推广应用价值。该测量系统具有测量精度高，测量方便，平面度和直线度...
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