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检测表面形状的点衍射干涉仪

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　一种检测表面形状的点衍射干涉仪，包括光学部分和数据采集、处理和控制部分。光学部分包含激光器，沿激光束前进方向的光轴上，依次设有会聚透镜，镀有超分辨掩膜的固体浸润透镜，在光轴的上方放置待测器件，下方设有成像透镜；数据采集、处理和控制部分CCD摄像机，计算机和位移控制器。本实用新型的关键是通过采用固体浸润透镜和超分辨掩膜的技术，获得了一个更小的小孔作为点衍射干涉仪的理想球面波的光源，该小孔不仅位置...
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