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底部三面保护的硅尖制作方法

2003年 应用技术
  • 成果简介
该发明专利是一种底部三面保护的硅尖制作方法。首先，在(100)硅片的正面和背面挖二条相交的槽，再用二氧化硅保护槽的表面和硅片的正面及背面，形成二个侧面和一个硅片背面的三面保护；然后，光刻正面在各向异性液中自硅片的上表面向下进行各向异性腐蚀，当腐蚀深度到达底部两个槽的顶部以后，腐蚀限制在三个方向上；最后，形成由一个漫腐蚀面和每条槽的一个侧面的三个面围成的硅尖。两相交的槽可以呈任意角，最常用的是90度...
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