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双光路光学反射法终点检测装置

2004年 应用技术
  • 成果简介
该实用新型属于微细加工领域的一种终点检测设备，用来控制微细加工过程中的工艺参数，保证加工精度。采用双光路反射法消除光源波动，光电探测器和电路温度效应等的影响，获得准确的测量数据。双光路一路为测量光路，另一路为参考光路。两路光在一反射镜处合为一束，经过相同的光电控测器和放大器等变为测量信号和参考信号。两信号通过运算电路得出反映加工过程的光强信号。该实用新型由于采用双光路，因此，有效地消除光源、光电探...
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