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有机微光机械振动/加速度传感结构及其制备方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
该发明属于硅基集成有机微光机械振动/加速度传感结构及其有机微光机械传感结构的制备方法。由单通道输入波导、多模干涉耦合器、双通道输出波导和微机械振动悬臂梁组成，采用有机光学材料制备微光机械结构的方法使得制备工艺简单、成本降低，实用。采用有机光学材料的可选择范围比无机光学材料大并可以进行分子结构合成改性，满足优化设计需要，采用有机光学材料制备悬臂梁，其弹性系数等力学参数可在很宽范围内调整，能提高器件的...
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