首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

制备类金刚石薄膜的装置

2004年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　一种制备类金刚石薄膜的装置，包括壁上带有两个透光窗口的真空室，真空室内置有靶材和待沉积薄膜基底。置于真空室外有用激光器作为光源发射光束经过分束镜分成两束光，一束为消融沉积光束经第一聚焦透镜透过第一透光窗口会聚到真空室内的靶材上。一束为扫描光束经过反射镜，第二聚焦透镜，旋转反射镜透过第二透光窗口会聚到真空室内的基底上。具有结构简单，易于操作，获得的薄膜质量优良，均匀而牢固。...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统