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复合热释电薄膜红外焦平面敏感元阵列

2001年 应用技术
  • 成果简介
该项目综合研究了铁电薄膜、绝热膜和过渡膜的制备工艺，对电极和铁电膜的图形化工艺进行了研究，并在此基础上结合“七五”、“八五”期间的研究积累，克服重重困难，实现了“红外吸收膜／上电极／热释电膜／下电极／过渡膜／绝热膜／硅基底”各功能膜层的集成，成功地制备出了2×8元、2×16元、2×32元、2×64元复合热释电薄膜红外焦平面敏感元阵列，其单元面积为300×400mm^2的星探测率D﹡达到了1×108...
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