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小型动态压力传感器

2002年 应用技术
  • 成果简介
该传感器采用半导体压阻效应原理、将一对受拉和一对受压力敏电阻组成惠斯登电桥,电桥和输出与被测压力成正比,进而测量动态压力;敏感膜片的结构分为平膜和“双岛”两种结构。主要技术指标如下:量程:1MPa;分辨率:0.2%FS;工作温度:-10-+55℃;过载能力:150%FS;非线性度:0.5%FS;固有频率:100kHz;满量程输出:≥100mV。...
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