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掺硅砷化镓抛光片

2000年 应用技术
  • 成果简介
该项目采用水平布里奇曼法来制备晶体，在研制过程中，解决了窄浓度范围的掺杂剂量控制问题，提高了晶片成品率；通过采用镓的预处理工艺及石英舟处理工艺的改进，解决了沾舟问题；通过对热场的调节改进，达到了降低位错密度改善晶体完善性的目的，所制抛光片成功用于微波器件。...
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