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非接触式表面形貌检测装置研制

1998年 应用技术
  • 成果简介
该成果用于亚微米超精加工中的质量检测，主要测量参数包括粗糙度、直线度、平面度和三维形貌等。该研究的创新点主要有：采用双频激光分离光点超外差干涉原理所研制的超精密激光测头，通过相位细分保证0.5纳米的分辨力和高的稳定性，通过 共模抑制作用使轮廓高度的测量精度达到±2mm。采用分离光点的探测方式，使该仪器除了 可以测量表面的微观不平度之外，还可以测量微小台阶、直线度和平面度等参数。所研制的“表面微观形...
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