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新颖的机器人位置、速度控制传感器测量系统

2001年 应用技术
  • 成果简介
设计研制出了一种新型的高分辨率柱面“蜂窝式”透镜光刻系统；提出了一种圆涣栅超微粒M“动态旋转涂布示”，解决了圆光栅超微粒“动态旋转涂布法”，解决了圆光栅超微粒乳胶涂布严重缩边的关键工艺，在国内首次应用超微粒乳胶光刻圆光栅获得成功；提出了一种创新的“高密度光栅制作方法”，即高速柱面“蜂窝式”透镜光刻法，使圆光栅刻划时间达到每转3分钟，分辨率达到250线对/毫米以上，刻出的圆光栅直径≤50毫米，刻线数...
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