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系列气体净化装置

2001年 应用技术
  • 成果简介
该系统净化装置可以从惰性气体、常用气体、永久性气体或其它工艺气体中除同量的氧、水、碳氢化合物、二氧化碳或其它有害杂质，达到用户所需要的纯度，净化装置有手动和全动任选。广泛用于各工业和科研领域，如大规模集成电路制造工业、化学工业、冶金、金属热处理工业用气的净化，用于色谱载气，仪器仪表零点气、低压静态法、指数解释气、动态法配制标准气的解释气等用气的净化。...
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