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等离子金属有机物化学气相沉物硬膜研究

1998年 应用技术
  • 成果简介
该技术是利用含钛的金属有机物作钛原,使用等离子化学气相沉物方法在刀具,模具上涂镀一层硬膜TiCN,用以提高其使用寿命。因此该技术可以用于机械行业及使用模具的其它制造业。...
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