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光学薄膜低能离子镀技术的研究

1994年 应用技术
  • 成果简介
光学薄膜低能离子镀（低压反应离子镀）技术是近年来发展起来的一种镀膜新技术，能制备出聚集密度高、光机性能稳定、更加坚硬牢固的薄膜，是发展航天技术、激光技术以及国防等领域的重要技术基础。该成果在国内首先研制成功光学薄膜沉积用低电压大电流等离子体源，并用之改造普通的光学镀膜设备成为国内首台低压反应离子镀沉积设备。该等离子体源的设计可推广到现有热蒸发镀膜机上，为国内的光学镀膜开辟了新的工艺技术和设...
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